MNC 2013

2013年11月5日~11月8日、ロイトン札幌ホテルで開催された第26回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議、26th International Microprocesses and Nanotechnology Conference(MNC 2013)において、M2 井上が以下の題目で研究発表を行いました。

International Microprocesses and Nanotechnology Conferenceは、フォトン、電子、イオン、その他の高エネルギー粒子およびナノ材料を用いたリソグラフィ科学およびプロセス技術について議論される国際会議で、マイクロ・ナノ構造作製や関連する物理・デバイスへの応用だけでなく、バイオ、医療情報、通信技術などの他分野との融合応用に係わる研究発表もなされます。

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Geng Tan, Yasuhisa Nozawa, Tomoyuki Funabasama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto

Nanoimprint Fabrication and Application of Subnano-Scale Surface-Patterned Glassy Substrates Presentation Invited

13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2014), “24A-6: Template / Material”, 24A-6-1, ANA Crowne Plaza Kyoto, Kyoto,, Japan, 24-Oct-2014.

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