フレキシブル基板上の配向性Ga2O3薄膜合成の論文が掲載

学術論文, 研究業績 /

超ワイドギャップ半導体である、β型酸化ガリウム(β-Ga2O3)薄膜について、室温・大気環境でレーザープロセスを用いることにより、フレキシブルポリマーシート上において優れた結晶配向性を示す薄膜合成を実現した研究成果が、Japanese Journal of Applied Physics / Vol.62 No.4に掲載されました。D1 甲斐が筆頭著者です。
DOI: 10.35848/1347-4065/accc63

Ryoya Kai andTomoaki Oga, Kazuki Watanabe, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto: Fabrication of highly-oriented β-Ga2O3 thin film on ZnO/AlOx-buffered cyclo-olefin polymer substrate by excimer laser annealing at room temperature. In: Japanese Journal of Applied Physics, vol. 62, no. 4, pp. 048003, 2023.